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電子槍與透鏡系統(tǒng)：配備高亮度六硼化鑭電子槍和優(yōu)化的透鏡系統(tǒng)，能在各種條件下提供高分辨率圖像，即使在工作距離 10mm、探針電流 1nA 的分析模式下也能獲取 10 萬倍的清晰圖像。

1：分辨率：高真空模式下，分析時分辨率為 1.5nm（@30kV）、4nm（@1kV）；低真空模式下，分辨率為 1.8nm（15kV，BED）。

• 放大倍率：以 128X96mm 的顯示尺寸規(guī)定放大倍率時，為 X5-X600,000；以 358mmX269mm 的顯示尺寸規(guī)定放大倍率時，為 X14-X1,679,449。

2：加速電壓：加速電壓 0.5kV-30kV 連續(xù)可調(diào)。

3：低真空模式：低真空壓力范圍為 10-150Pa，便于觀察電子束敏感樣品，能減輕熱損傷，也能鮮明地確認絕緣材料的細微結(jié)構(gòu)。

4：樣品臺：采用大型全對中樣品臺，X 方向行程為 125mm，Y 方向為 100mm，Z 方向為 80mm，傾斜角度為 - 10-90°，旋轉(zhuǎn)角度為 360°，樣品尺寸為直徑 200mmX 高度 75mm。

5：自動功能：具備電子束對中調(diào)整、自動聚焦、自動消像散、自動亮度、自動襯度等全面的自動化功能，提高操作便捷性和工作效率。

6：圖像模式：支持二次電子像、REF 像、成分像、拓撲像、陰影像等多種圖像模式。

7：元素分析功能：配備大口徑的 EDS，支持快速面分布，70 秒即可獲得面分布結(jié)果。在觀察屏幕上可以隨時顯示分析區(qū)域內(nèi)的特征 X 射線譜圖以及自動定性的主要構(gòu)成元素。

8：數(shù)據(jù)管理軟件：搭載 SMILE VIEWTM Lab 數(shù)據(jù)集中管理軟件，能對與樣品臺坐標關(guān)聯(lián)的 CCD 圖像、SEM 圖像、EDS 分析結(jié)果等數(shù)據(jù)進行統(tǒng)一管理，并快速生成報告。

二手JEOL  IT-500HR場發(fā)射電鏡：核心硬件參數(shù)